德國BALLUFF巴魯夫磁敏傳(chuan) 感器工作原理 磁敏傳(chuan) 感器,顧名思義(yi) 就是感知磁性物體(ti) 的存在或者磁性強度(在有效範圍內(nei) )這些磁性材料除永磁體(ti) 外,還包括順磁材料(鐵、鈷、 鎳及其它們(men) 的合金)當然也可包括感知通電(直、交)線包或導線周圍的磁場。 一, 傳(chuan) 統的磁檢測中首先被采用的是電感線圈為(wei) 敏感元件。特點正是無須在線圈中通電,一般僅(jin) 對運動中的永磁體(ti) 或電流載體(ti) 起敏感作用。後來發展為(wei) 用線圈組成振蕩槽路的。 如探雷器, 金屬異物探測器,測磁通的磁通計等. (磁通門,振動樣品磁強計)。 德國BALLUFF巴魯夫霍爾傳(chuan) 感器 霍爾傳(chuan) 感器是依據霍爾效應製成的器件。 霍爾效應:通電的載體(ti) 在受到垂直於(yu) 載體(ti) 平麵的外磁場作用時,則載流子受到洛倫(lun) 茲(zi) 力的作用,德國巴魯夫BALLUFF 並有向兩(liang) 邊聚集的傾(qing) 向由於(yu) 自由電子的聚集(一邊多一邊必然少)從(cong) 而形成電勢差, 在經過特殊工藝製備的半導體(ti) 材料這種效應更為(wei) 顯著。從(cong) 而形成了霍爾元件。早期的霍爾效應的材料Insb(銻化銦)。為(wei) 增強對磁場的敏感度在材料方麵半導 體(ti) IIIV 元素族都有所應用。近年來,除Insb之外,有矽襯底的,也有砷化镓的。霍爾器件由於(yu) 其工作機理的原因都製成全橋路器件,其內(nei) 阻大約都在 150Ω~500Ω之間。對線性傳(chuan) 感器工作電流大約在2~10mA左右,一般采用恒流供電法廠家批發1288元/個(ge) 。 Insb與(yu) 矽襯底霍爾器件典型工作電流為(wei) 10mA。而砷化镓典型工作電流為(wei) 2 mA。作為(wei) 低弱磁場測量,我們(men) 希望傳(chuan) 感器自身所需的工作電流越低越好。(因為(wei) 電源周圍即有磁場,就不同程度引進誤差。另外,目前的傳(chuan) 感器對溫度很敏感,通 的電流大了,有一個(ge) 自身加熱問題。(溫升)就造成傳(chuan) 感器的零漂。這些方麵除外附補償(chang) 電路外,在材料方麵也在不斷的進行改進。 霍爾傳(chuan) 感器主要有兩(liang) 大類,一類為(wei) 開關(guan) 型器件,一類為(wei) 線性霍爾器件,從(cong) 結構形式(品種)及用量、產(chan) 量前者大於(yu) 後者。霍爾器件的響應速度大約在1us 量級。 三,磁阻傳(chuan) 感器 磁阻傳(chuan) 感器,磁敏二極管等是繼霍爾傳(chuan) 感器後派生出的另一種磁敏傳(chuan) 感器。采用的半導體(ti) 材料於(yu) 霍爾大體(ti) 相同。但這種傳(chuan) 感器對磁場的作用機理不同,傳(chuan) 感器內(nei) 載流子運動方向與(yu) 被檢磁場在一平麵內(nei) 。(順便提醒一點,霍爾效應於(yu) 磁阻效應是並存的。在製造霍爾器件時 應努力減少磁阻效應的影響,而製造磁阻器件時努力避免霍爾效應(在計算公式中,互為(wei) 非線性項)。廠家批發1288元/個(ge) 在磁阻器件應用中,溫度漂移的控製也是主要矛盾,在器件製 備方麵,磁阻器件由於(yu) 與(yu) 霍爾不同,因此,早期的產(chan) 品為(wei) 單隻磁敏電阻。由於(yu) 溫度漂移大,現在多製成單臂(兩(liang) 隻磁敏電阻串聯)主要是為(wei) 補償(chang) 溫度漂移。目前也有 全橋產(chan) 品,但用法(目的)與(yu) 霍爾器件略有差異。據報導磁阻器件的響應速度同霍爾1uS量級巴魯夫BALLUFF。 磁阻傳(chuan) 感器由於(yu) 工作機理不同於(yu) 霍爾,因而供電也不同,而是采用恒壓源(但也需要一定的電流)供電。當後續電路不同對供電電源的穩定性及內(nei) 部噪聲要求高低有所不同。 四, 磁敏器件應用的問題 磁敏器件(單元)體(ti) 積問題: 在磁敏元件作為(wei) 檢測磁場而設計和製造的 ,磁敏傳(chuan) 感器一般檢測的概念是:測量磁場中某一點的磁性。作為(wei) 點的定義(yi) 在幾何學中是無限小的。在磁場檢測中,由於(yu) 磁場的麵積、體(ti) 積、縫隙大小等都是有限麵積(尺 寸),因此我們(men) 希望磁敏元件之麵積與(yu) 被測磁場麵積相比也應該是越小越準確。在磁場成像的技術中,元件體(ti) 積越小,在相同的麵積內(nei) 采集的像素就愈多。分辨率、 清晰度越高。在表麵磁場測量與(yu) 多級磁體(ti) 的檢測中,在磁柵尺中,必然有如此要求。從(cong) 磁敏元件工作機理看,為(wei) 提高靈敏度在幾何形狀處於(yu) 磁場中的幾何尺寸都有相 應要求,這與(yu) “點”的要求是相矛盾的。在與(yu) 國外專(zhuan) 家技術交流中得知,1999年俄羅斯專(zhuan) 家說他們(men) 製成了體(ti) 積0 .6mm得探頭(是幾個(ge) 研究所合作搞成的)。美國也有相應的產(chan) 品,售價(jia) 約70美元一隻。是否是目前zui高水平,未見其它報導。 |